判断题
MEMS是微机电系统，也是指微小的机械电子系统，此系统包含机械部件和电子部件。
正确
多项选择题 常用的车速传感器有哪几种（）
多项选择题 应用MEMS技术的加速度传感器有哪几种（）
多项选择题 动机转速传感器按其结构形式可分为哪三种（）
