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直拉单晶硅工艺学

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填空题

为克服拉制高杂质浓度单晶的组分过冷,需要有大的()温度梯度,为了提高单晶质量要求有较小的()温度梯度。

【参考答案】

纵向;径向

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填空题 生长系统中的温度分布中,任何品种单晶生长都需要()对称。

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