填空题 （）仍是生产硅单晶的主要方法，它工艺成熟，便于控制（）和（），容易拉制大直径无位错单晶，尤其能制备10-4欧姆•厘米级特殊单晶。

填空题 硅单晶的生产方法以直拉法和区熔法为主，其他方法有极少少量应用，世界硅单晶产量，其中70～80%是（）生产，20～30%是（）生产的。

填空题 用外延法生长单晶，有（）和（）两种方法。