名词解释
物理气相沉积
以物理机制来进行薄膜沉积而不涉及化学反应的沉积技术，所谓物理机制是物质的相变化现象，如蒸镀，蒸镀源有固态转化为气态溅镀，......
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名词解释 化学气相沉积
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名词解释 阳极效应
