单项选择题
危险情况时触发（），设备会停止一切动作。
A.InterlockB.报警器C.EMO/EMS按钮D.感应Sensor
单项选择题 关于BLU&Panel投入中说法错误的是？（）
单项选择题 在灯下检查BLU表面有无异物，若有异物应（）
单项选择题 Module OLB/COG/FOG制程中，影响Bonding状态的最重要的辅材是（）
