判断题 68度腐蚀参考腐蚀速率0.013μm/s；不饱和50度参考腐蚀速率0.003μm/s，腐蚀速率有波动，设定的腐蚀时间可适当大于计算出的腐蚀时间。

判断题 腐蚀篮的上边缘必须高于腐蚀液面2到3cm，预防少片。

判断题 将热纯水放入黑色周转盒中，并将盛有晶片的黑色清洗筐放入流动的热纯水中晃动清洗更换2次热水。