判断题 仪器垂直线性的好坏直接影响到对缺陷大小的判断。

判断题 水平线性的好坏影响缺陷定位的精度，一般规定水平线性误差不大于2%。

判断题 仪器工作频率的好坏直接影响到对缺陷当量的判断。