判断题 离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

判断题 离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

判断题 离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。