填空题 直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的（），通过它把电流输送给控制柜。

填空题 直拉单晶炉的电极一般由（）制成，两层形成环状，内部通水。

填空题 电极装在炉膛底部，它的作用是支撑（），用于传递强大电流，使被支撑件发热，熔化多晶硅。