填空题 光电式编码器由（）、光学系统、码盘、（）、处理电路等组成。

填空题 磁栅式传感器由磁栅、磁头和检测电路组成，其中（）是检测位置的基准尺。

填空题 在相同的电压和相同幅值的光强度下，当入射光以不同的正弦交变频率调制时，光敏元件输出的光电流I和灵敏度S随调制频率f变化的关系：I=fi（f）、S=f2（f）称为（）