问答题
热生长SiO2 – Si系统中的电荷有哪些？
界面陷阱电荷、可移动氧化物电荷。
问答题 影响氧化速度的因素有哪些？
问答题 描述热氧化过程。
问答题 说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
