问答题 压电式加速度传感器的结构如图所示，假设重块组件的质量为m，压电元件的压电系数为d，传感器壳体内的等效阻尼系数为c。 要求： （1）分别给出输出电荷q及输出电压U与加速度a之间的关系； （2）画出此加速度传感器的等效模型； （3）推导传感器的微分方程，并说明它是几阶环节的传感器。

填空题 传感器通常由直接响应于被测量的（）和产生可用信号输出的（）组成。

填空题 平行板电容传感器的输入被测量与输出被测量间的关系，除（）外是线性的。