填空题 目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。

填空题 加热器是根据直拉单晶炉的（）和所拉制单晶的（）等条件确定的，一般设计成（）电路形式。

填空题 常见的加热器有三种形状，筒形、杯形、螺旋形，目前绝大多数加热器为（）。