多项选择题
关于湿法刻蚀和干法刻蚀，下列哪种说法正确？（）
A.湿法比干法的选择性好B.干法比湿法的保真度好C.干法比湿法的图形分辨率低D.湿法比干法的设备更复杂
单项选择题 原子力显微镜属于（）显微技术，其工作模式包括（）。
多项选择题 扫描隧道电子显微镜具有（）工作模式。
单项选择题 透射电子显微镜和扫描电子显微镜是利用（）作为照明源。
