多项选择题
氮化硅制备方法有（）。
A.硅粉直接氮化法 B.碳热还原二氧化硅法 C.自蔓燃法 D.高温气相反应法 E.等离子体气相反应法
单项选择题 硅料国标中1级料对碳含量的要求为（）atoms/cm3
多项选择题 在运行过程中有（）五个步骤。
多项选择题 自然界的物质通常以三种形态存在：（）。
