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直拉单晶硅工艺学

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填空题

单晶硅是在热场中进行拉制的,热场的优劣对()有很大影响。

【参考答案】

单晶硅质量

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填空题 单晶炉的热场系统中()是晶体生长时的实际热场,它是在()的基础上补充变化而来。

填空题 动态热场中由于拉晶过程中()下降,使温度分布发生变化。

填空题 动态热场中由于晶体生长释放出(),影响温度分布。

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