问答题 工作时，如果传感器与工件的间隙变化量Δδ＝±1μm时，电容变化量是多少？

问答题 电容式、电感式、电阻应变式传感器的测量电路有何异同？举例说明。

问答题 电感传感器（自感型）的灵敏度与哪些因素有关？要提高灵敏度可采取哪些措施？采取这些措施会带来什么样后果？