单项选择题 坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。

单项选择题 在显影过程中，对于正性抗蚀剂，显影液的使用要求是（）。

单项选择题 当需要刻蚀的图形尺寸大于3um时，一般使用（）。