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直拉单晶硅工艺学

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填空题

直拉单晶硅不同晶向的单晶时,需要热场的()温度梯度不同。

【参考答案】

纵向

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填空题 由于晶体(),不同的生长方向生长速度不同。

填空题 使单晶散热加快是一种提高熔体()的有效办法。

填空题 温度梯度的大小很大程度上决定于()的结构,决定于它们之间的()位置。

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