问答题
描述CVD反应中的8个步骤。
1)质量传输 2)薄膜先驱物反应 3)气体分子扩散 4)先驱物吸附 5)先驱物扩散进衬底 6)表面反应 7)副产物解吸 8)副产物去除
问答题 例举淀积的5种主要技术。
问答题 什么是多层金属化?它对芯片加工来说为什么是必需的?
问答题 例举并描述薄膜生长的三个阶段。