填空题
常用的溅射镀膜方法有（）溅射、（）溅射和（）溅射，其中（）溅射只能沉积金属膜，（）溅射能够沉积介质膜。
直流；射频；磁控；直流；射频
填空题 为了获得所设计成分的合金或化合物薄膜，可以采用（）和（）蒸发法。
填空题 蒸发镀膜高真空度的目的主要为：金属或非金属材料的（）温度下降，可以减少蒸汽原子和（）原子的（）
填空题 真空蒸镀薄膜的形成机理有（）型、（）型和（）型。
