多项选择题
关于ALD下列那种说法正确（）
A.只能生长单组份纳米膜B.生成膜有良好的台阶覆盖特性C.可以精确控制膜厚到原子尺度D.是通过控制前驱体的剂（流）量来精确控制膜厚的
填空题 碳纳米管手性分为锯齿型，（），其他空间螺旋型。
多项选择题 流动油面冷凝法说法正确的是（）
多项选择题 下列哪些方法属于液相方法（）
