判断题 离子源是产生离子的装置。（）

判断题 液相外延的原理是饱和溶液随着温度的降低产生过饱和结晶。（）

判断题 抛光片的电学参数包括电阻率，载流子浓度，迁移率，直径、厚度、主参考面等。（）