问答题
STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
采用干法刻蚀，是为了保证深宽比。
问答题 描述金属复合层中用到的材料？
问答题 为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺？更小的栅长会引发什么问题？
问答题 为什么要采用LDD工艺？它是如何减小沟道漏电流的？
