判断题 对三氯氢硅中痕量杂质的分析采用化学药剂提纯法。

判断题 纯水制备系统要每周检测一次砂滤出水SDI值，若SDI值超过5，就要检查原因。

判断题 纯水制备系统过程中原水箱回流阀要全关闭。