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直拉单晶硅工艺学

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填空题

单晶硅生长时,熔体纵向温度梯度较小时,可能会生成(),凝结在()处,使硅单晶发生(),导致晶体生长不稳定。

【参考答案】

新晶核;固液界面;晶变

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填空题 生长界面处的()是晶体、熔体、环境三者的传热、放热、散热综合影响的结果,在一定程度上决定着单晶质量。

填空题 最能影响结晶状态是()的温度梯度,是()、()、()三者的传热、放热、散热综合影响的结果。

填空题 单晶硅生长时,热场中存在着固体(晶体)和熔体两种形态,那么温度梯度共有()种。

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