填空题 闭环伺服式传感器较之一般开环式传感器具有高的（）和（）。

填空题 半导体应变片传感器的工作原理是基于（）效应，它的灵敏系数比金属应变片的灵敏系数（）；压阻效应是指（）半导体材料在沿着某一轴向受到（）作用时，其（）发生变化的现象。涡电流式传感器的工作原理是利用金属导体在交变磁场中的（）效应。

填空题 变间隙式电容式传感器常作成差动的，其主要目的之一是（），目的之二是（），目的之三是（）。