问答题
什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?
硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物,是一种具有热稳定性的金属化合物,并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。......
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问答题 什么是阻挡层金属?阻挡层材料的基本特征是什么?哪种金属常被用作阻挡层金属?
问答题 例举并讨论引入铜金属化的五大优点。
问答题 解释铝已经被选择作为微芯片互连金属的原因。