多项选择题
判定硅烷测试合格的要求是（）
A.水滴干后可以看到明显的扩散 B.水滴干后可以清楚的看到黑色大头钉似的圆周 C.水滴扩散开后的直径大于40mm D.水滴干后毛面颜色有明显的变化
单项选择题 湿度柜的实验参数是（）
单项选择题 蚀刻机中蚀刻液的主要成分（）
单项选择题 1号层压机操作软件界面中有几个控制模块（）
