多项选择题
根据曝光模式，光制机的种类分为（）。
A.接触式曝光B.接近式曝光C.扫描式曝光D.投影式曝光
多项选择题 刻蚀的过程中，对刻蚀的要求是（）
多项选择题 以下属于刻蚀环节质量要求的是（）
多项选择题 最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括（）
