单项选择题 扩散焊设备的（）是由捕集器、油扩散泵罗茨增压泵、机械泵及各种阀门、管道组成的三级泵串联系统。

单项选择题 扩散焊设备的真空系统必须保证焊接设备的真空压力达到（）以上。

单项选择题 扩散焊设备的（）采用闭环控制线路。