填空题 电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。

填空题 离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。

判断题 爆炸成形适合于大批量的小型简单工件加工。