单项选择题 直流溅射是利用直流辉光放电产生离子轰击靶材进行溅射镀膜的技术，靶材固定在（）极。

单项选择题 真空蒸发制膜中，蒸发源在高温下会放气，所以，在蒸发源通电加热之前，可以（），然后对膜材加热去气。

判断题 化学气相沉积（CVD）法的源材料直接为气体，在高温或等离子条件下生长一维纳米材料。