填空题 通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

填空题 （）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

填空题 离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。