填空题 直拉单晶炉拉制单晶过程中，一般用（）做保护气氛。

填空题 热偶规管的测量原理是，真空系统对单晶炉抽气，随着炉内（），从热阻丝上带走的热量减少，热电偶温度上升，热电势上升，毫伏表指针在刻度盘上移动，指示出不同的真空度。

填空题 真空泵工作一段时间后，由于（）作用，真空泵质量下降，要定期更换新油。