问答题
当碟片出现旋涂不良时应怎样处置？
（1）调整下料手臂位置及运动速度； （2）调整伺服电机转速； （3）调整染料下料量及时间。
问答题 当旋涂机接片手往冷却梁输入arm 1手放片不正时，应如何调整？
问答题 8.0线烘炉螺杆不运行应先检查什么？
问答题 GV6亮红灯是什么问题？
