单项选择题
硅料国标中1级料对氧含量的要求为（）atoms/cm3。
A.≤1.0×1016 B.≤1.0×10117 C.≤1.5×1016 D.≤1.5×1017
单项选择题 坩埚喷涂使用的是（）。
单项选择题 加热跳转到熔化的条件是（）。
单项选择题 Ar流量误差最大报警值是（）。
