判断题
利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。
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多项选择题 制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。
单项选择题 磁控溅射与二级溅射相比的特点是（）
单项选择题 基片浸入预先制备好的溶胶中，以一定的速度将基片向上提出液面，这时在基片上会形成一层均匀的液膜，这种方法是（）
