问答题
给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？
投影掩膜版是一种透明的平板，在它上面有要转印到硅片上光刻胶层的图形。投影掩膜版只包括硅片上一部分图形，而光掩膜......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
问答题 解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
问答题 光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？
