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直拉单晶硅工艺学

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填空题

生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时,()作发热体生长的多晶硅,破碎或者截成段后,经过清洁处理就可以作为拉制硅单晶的原料。

【参考答案】

硅芯

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填空题 单晶同多晶相比,不单是()排列有规律,同时,各种()也大大改善,增加了许多新性质,扩大了用途,大大提高了身价。

填空题 工业硅中的杂质多数是以()或()的形式混于工业硅中。

填空题 制取高纯多晶一般采用化学方法对工业硅提纯,工业上用化学方法制取高纯硅有三种方法:()、()、()。

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