问答题
简述沟道切断的作用。
在源漏电极湿法刻蚀完后，要进行沟道切断。利用源漏电极作掩膜，把沟道上的n+a-Si切断，防止沟道之间的短路。
问答题 简述4次光刻的工艺流程。
问答题 简述5次光刻的工艺流程。
问答题 简述背沟道阻挡结构的优缺点。
