填空题 三坐标测量仪是用来解决（）复杂尺寸和（）测量的一种高效率的精密测量仪。它还用于CAD时的（）和CAM的（）。

填空题 工件的加工精度和表面粗糙度在很大程度上取决于主轴的（）和（）。

填空题 凸轮机构在运转时，出现柔性冲击的原因是从动件（）。