问答题
解释离子束扩展和空间电荷中和。
由于电荷之间的相互排斥，所以一束仅包括正电荷的离子束本身是不稳定的，容易造成离子束的膨胀即离子束的直径在行进过程中不断的......
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问答题 离子源的目的是什么？最常用的离子源是什么？
问答题 例举离子注入设备的5个主要子系统。
问答题 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
