问答题
旋涂机手臂不动作如何处理？
（1）手臂做home回原点；关闭控制手臂空开，做home。 （2）关闭PLC，重新做原点。
问答题 旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？
问答题 7.0旋涂碗电机不转有哪些原因？
问答题 如何更换Arm手臂的吸碟头？
