填空题 压电式传感器可等效为一个电荷源和一个（）并联，也可等效为一个与电容相串联的电压源。

填空题 感式传电感器可以分为（）、互感式、涡流式三大类。

填空题 电涡流传感器从测量原理来分，可以分为高频扫射式和（）两大类。