填空题 热场配置主要改变（）和（）空间的温度分布状况。

填空题 热场配置是将加热器、保温罩、保温盖、石墨托碗等搭配组合一些几何形式，用来改变单晶炉内的（）状况。

填空题 晶体生长过程中，单晶硅结晶界面平坦，说明界面处的（）等于零。