问答题
溅镀机短路，怎样解决？
（1）检查大小mask是否有发黑、短路的地方，如有，更换mask； （2）清理靶材边缘，清理溅镀仓。
问答题 7.0盘片干燥不好，由哪些因素造成的？如何解决？
问答题 8.0UV灯不亮怎么办？
问答题 8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入，为什么？
