填空题 用作拉硅单晶原料时，P型多晶硅含硼量小于（）个原子/cm3，P型电阻率大于（）。

填空题 用作拉硅单晶原料时，N型多晶硅含磷量小于（）个原子/cm3，N型电阻率大于（）。

填空题 生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时，（）作发热体生长的多晶硅处理比较复杂，首先将多晶破碎，然后用砂轮将多晶硅中的钼丝和硅钼合金打磨干净，最后经清洁处理后方能用来拉制硅单晶。