未知题型
常压CVD反应剂分子到达衬底表面空洞等底部特殊位置的机制有： 、再发射、表面迁移三种。（填两个字）
扩散常压化学气相沉积（CVD）反应剂分子到达衬底表面空洞等底部特殊位置的机制主要包括扩散、再发射和表面迁移。扩散是指分子......
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