问答题
简答题
解释发生刻蚀反应的化学机理和物理机理。
【参考答案】
在纯化学机理中，等离子体产生的反应元素（自由基和反应原子）与硅片表面的物质发生应。物理机理的刻蚀中，等离子体产生的带能粒......
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